当サイトでの位置づけ
WLP・マスクアライナー等、ウェハ上で実装準備を進める装置に強みがあり、後工程寄りの前工程(再配線・ボンディング前処理)の境界領域で参照されます。
企業の強み
ウェーハレベルパッケージング装置における専門性
マスクアライナーおよび基板ボンディング技術
MEMS・先端パッケージング向けソリューション
主要製品・ソリューション
ウェーハレベルパッケージング装置
- •ボンディング装置
- •コーティング装置
リソグラフィ装置
- •マスクアライナー
Suss MicroTecの製品
関連装置カテゴリ
フリップチップボンダー
フリップチップボンダー(Flip Chip Bonder)は、チップを裏返して基板に直接実装し、はんだバンプを介して電気・機械接続を行う先端実装装置です。
メーカー 4 社ウェハレベルパッケージングウェハレベルパッケージング(WLP:Wafer Level Packaging)は、ダイシング前のウェハ状態で再配線層形成、バンプ形成、保護膜形成などのパッケージング工程を一括実施する先端技術です。
メーカー 9 社MEMS製造装置MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)製造装置は、マイクロメートルスケールの機械構造と電子回路を同一基板上に作製する微小機械デバイス製造に特化した装置群です。
メーカー 9 社半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Suss MicroTecを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
同じトピックの用語
先端パッケージング のトピックで関連する用語です。
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2.5Dパッケージングと3D ICパッケージングの違い
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