Suss MicroTec
WLP・マスクアライナー等、ウェハ上で実装準備を進める装置に強みがあり、後工程寄りの前工程(再配線・ボンディング前処理)の境界領域で参照されます。
ドイツを拠点とする半導体製造装置メーカー。ウェーハレベルパッケージングおよび先端リソグラフィ技術のスペシャリスト。
企業の強み
- ✓ウェーハレベルパッケージング装置における専門性
- ✓マスクアライナーおよび基板ボンディング技術
- ✓MEMS・先端パッケージング向けソリューション
主要製品
ウェーハレベルパッケージング装置
- ボンディング装置
- コーティング装置
リソグラフィ装置
- マスクアライナー