Suss MicroTec

ドイツを拠点とする半導体製造装置メーカー。ウェーハレベルパッケージングおよび先端リソグラフィ技術のスペシャリスト。

ドイツ・公式サイト ↗

当サイトでの位置づけ

WLP・マスクアライナー等、ウェハ上で実装準備を進める装置に強みがあり、後工程寄りの前工程(再配線・ボンディング前処理)の境界領域で参照されます。

企業の強み

ウェーハレベルパッケージング装置における専門性
マスクアライナーおよび基板ボンディング技術
MEMS・先端パッケージング向けソリューション

主要製品・ソリューション

ウェーハレベルパッケージング装置

  • •ボンディング装置
  • •コーティング装置

リソグラフィ装置

  • •マスクアライナー

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