ファブインフラ設備は、半導体製造工場（ファブ、Fabrication Facility）において、製造装置を稼働させるために必要な基盤設備の総称です。これには、クリーンルーム設備、空調設備、純水製造設備、ガス供給設備、排気処理設備、電力供給設備、搬送システムなどが含まれます。
クリーンルーム設備は、微細なパーティクルを極限まで排除した清浄な製造環境を提供します。先端半導体製造では、クラス1（1立方フィート当たり粒径0.1μm以上のパーティクルが1個以下）という極めて高い清浄度が求められます。AMHS（自動搬送システム）は、ウェハを各製造装置間で自動的に搬送するシステムで、人手による汚染を防ぎ、効率的な生産を実現します。
これらのインフラ設備は、半導体製造の品質と効率を左右する重要な要素であり、ファブ建設コストの大きな部分を占めます。特に先端ファブでは、装置投資と同等かそれ以上のインフラ投資が必要とされ、ダイフクや村田機械などの搬送装置メーカーが重要な役割を果たしています。