ファブインフラ設備メーカー10社Fab Infrastructure

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。

• •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
• •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
• •FOUP・ウェハシッパーなどウェハ保護材料で業界標準

半導体製造装置向けサブシステム・部品・洗浄サービスのアウトソーシング専業企業。AMAT・Lam Research・ASMLなど大手OEMを主要顧客に持つ。

• •主要装置OEM向けガス流路モジュールのトップサプライヤー
• •チャンバー部品の精密加工・洗浄再生サービス
• •垂直統合型のサプライチェーンで短納期を実現

ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。

• •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
• •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
• •Newport光学・レーザー技術との融合製品群

産業ガス・特殊ガスの世界大手。半導体向けにはWF₆・NF₃・GeH₄・特殊エッチングガスなど、成膜・エッチング・クリーニングの全工程を支える。

• •半導体向け特殊ガスのグローバルトップサプライヤー
• •Fabオンサイト供給システムによる安定ガス供給
• •特殊ガス精製・分析・混合の一貫ソリューション

熱電モジュール・シリコン部品・石英ガラス部品など半導体製造装置向けコンポーネントの日本大手。中国での半導体部材生産にも積極投資。

• •サーモエレクトリックモジュールで世界シェア首位級
• •石英・セラミック・シリコン部品の一貫製造
• •中国拠点を活用した半導体部材の大規模供給体制

半導体製造装置向けRF電源・直流電源・マッチングネットワークの世界的リーダー。エッチング・CVD・PVDなどプラズマプロセス装置の電源ユニットで圧倒的なシェアを持つ。

• •プラズマプロセス向けRF電源・マッチングネットワークで世界首位
• •エッチング・CVD・PVD装置のほぼ全てのアプリケーションをカバー
• •2019年にLumineデータセンター電源を統合し電源インフラ事業を拡大

フランスの産業ガス世界大手。半導体製造に使われる超高純度特殊ガス（フッ素・NF3・N2O・H2など）を供給。Lindeと並ぶ二大電子材料ガスメーカーの一角。

• •超高純度NF3（クリーニングガス）・フッ素・希少ガス供給で世界トップ
• •Air Products・Lindeと並ぶ産業ガス三強の一角
• •半導体FABへのオンサイト供給・配管インフラ構築で長期契約

CMP（化学機械研磨）装置と半導体製造用真空ポンプ・除害装置の大手。ポンプ・精密機械・環境事業を軸に、半導体製造インフラを幅広く支える。

• •CMPシステムで世界シェア上位。前工程の平坦化プロセスに不可欠
• •ドライ真空ポンプ・スクラバーでクリーンルームの排気・除害を担う
• •ウェーハ研磨技術とポンプ技術の両輪でFABインフラを支援

防振・除振を専門とする国内メーカー。空気ばね式やアクティブ制御式の除振装置、防振ゴムを供給し、露光装置や電子顕微鏡など振動に敏感な装置の設置環境を支える。

• •パッシブ・アクティブ両方式の除振装置
• •現地の振動測定から対策提案までの一貫対応
• •建屋レベルの防振設計にも対応

産業ガスを中核とする国内大手。窒素・酸素・水素などのバルクガスに加え、半導体プロセス向けの各種特殊ガスや、オンサイト供給設備・ガス供給配管システムを手掛ける。

• •バルクガスと特殊ガスの両方を供給
• •オンサイト発生設備によるファブ向け供給体制
• •ガス供給設備の設計・施工まで一貫対応