トランジスタ（Transistor）は、電子信号の増幅やスイッチング（オン・オフの切り替え）を行う半導体素子です。真空管に代わる発明として登場し、現代のデジタル社会を支える最も基本的な構成要素です。
半導体製造において、微細化の対象となるのは主にこのトランジスタのサイズです。構造としては、長年主流だった平面型のプレーナー構造から、14/22nm世代で導入された立体構造の「FinFET」、そして3nm世代以降で採用が始まった「GAA（Gate-All-Around）」へと進化を続けています。トランジスタをより小さく、より低消費電力で高速に動作させることが、半導体プロセスの主要な目標となっています。