i線ステッパーは、水銀ランプのi線（波長365nm）を光源とする露光装置です。主に成熟プロセスノード（350nm以上）向けに使用され、先端デバイスほどの微細化を必要としない半導体製造において、コスト効率に優れた量産装置として重要な役割を果たしています。
i線ステッパーの主な用途は、パワー半導体、アナログIC、ディスクリート素子、MEMS、イメージセンサーなどです。これらのデバイスでは、最先端の微細化よりも、高い信頼性、優れた電気特性、低コストが重視されます。i線露光は技術的に高度に確立されており、安定した生産性と低い運用コストを提供します。
EUVやDUV露光装置と比較して、装置価格が大幅に低く（数億円程度）、メンテナンスコストも抑えられるため、成熟ノード製造において経済的な選択肢となっています。自動車、産業機器、家電などの幅広い用途で使用される半導体の量産に継続的に使用されており、Nikon、Canonなどが主要なサプライヤーとして知られています。