FOSB와 FOUP의 차이
FOSB(Front Opening Shipping Box)와 FOUP(Front Opening Unified Pod)는 모두 300mm 웨이퍼 25장을 담는 앞면 개방형 밀폐 용기로 겉모습도 비슷합니다. 하지만 FOUP는 팹 안을 OHT로 돌아다니는 '사내 반송 용기'이고, FOSB는 웨이퍼 제조사에서 고객에게 넘어가는 '출하 용기'입니다. 이 용도 차이가 상단 구조·내구성·가격·운용 방식 모두에 반영되어 있습니다.
결론
FOSB와 FOUP의 가장 큰 차이는 어디서 쓰느냐입니다. FOUP는 팹 안의 자동 반송 시스템(AMHS)용 용기로, 상단에 천장 반송 장치(OHT)가 집어 올리는 로보틱 플랜지가 있고 수없이 반복 사용하도록 튼튼하고 비쌉니다. FOSB는 웨이퍼 제조사에서 반도체 제조사로 웨이퍼를 보내는 출하용 용기로, 상단은 손잡이 형태이고 운송 중 진동·충격 대책과 비용이 중시됩니다. 둘 다 SEMI 규격(FIMS)을 따르므로 장비의 로드 포트에는 똑같이 올릴 수 있습니다.
비교표
| 항목 | FOSB(출하용) | FOUP(팹 내부 반송용) |
|---|---|---|
| 주 용도 | 웨이퍼 제조사 → 반도체 제조사 출하·운송 | 팹 내부 공정 간 반송, 장비 공급 |
| 상단 구조 | 손잡이(사람·팔레트 운송 전제) | 로보틱 플랜지(OHT가 들어 올림) |
| OHT 자동 반송 | 원칙적으로 비대응 | 대응(AMHS의 표준 캐리어) |
| 수납·규격 | 300mm × 25장, FIMS 준거 | 300mm × 25장, FIMS 준거 |
| 내구성 | 운송 충격·진동에 견디는 설계, 반송 후 재사용 | 수많은 개폐·반송에 견디는 고내구 설계 |
| 가격 | 상대적으로 저렴 | 비쌈(팹의 자산으로 관리) |
| 주요 제조사 | 미라이얼, 신에츠폴리머, 엔테그리스, 구덩(Gudeng) | 엔테그리스, 신에츠폴리머, 미라이얼, 구덩 |
왜 출하용과 반송용 용기를 나누나
FOUP는 팹의 자산으로 OHT에 매달려 하루에도 여러 번 장비에 붙었다 떨어지는, 소모가 심한 용기입니다. 그래서 상단 플랜지와 위치 결정 구조, 내마모성에 비용을 들일 가치가 있습니다. 반면 출하 용기는 운송업자에게 넘어가 진동·낙하·온도 변화를 겪은 뒤, 비면 다시 돌려보내집니다. 여기에 FOUP처럼 비싼 용기를 쓰는 것은 경제적이지 않으므로, 운송에 필요한 보호 구조와 비용의 균형을 맞춘 FOSB를 씁니다.
입고 후 운용: 옮겨 담을까, 그대로 쓸까
FOSB는 FIMS 규격이라 로드 포트에 바로 올릴 수 있지만, 팹 안에서 OHT로 반송하려면 FOUP로 옮겨 담아야 합니다. 웨이퍼를 한 장씩 옮기는 작업은 파티클이 섞일 위험이 있어 청정도가 관리되는 전용 구역에서 웨이퍼 이송 장비로 합니다. 베어 웨이퍼를 첫 공정에 바로 투입하는 경우에는 FOSB 그대로 넣기도 합니다.
공통 과제: 대기 중 표면 변질
용기 안에 남은 수분과 산소는 웨이퍼 표면의 자연 산화와 헤이즈의 원인이 됩니다. 에피 웨이퍼나 SOI 웨이퍼처럼 부가가치가 높은 제품을 운송할 때는 N₂ 퍼지 사양 용기나 진공 포장을 함께 씁니다. 팹 안에서는 로드 포트의 하단 퍼지와 퍼지 스토커로 FOUP 내부 분위기를 관리합니다.
자주 묻는 질문
FOSB와 FOUP는 호환되나요?
둘 다 SEMI의 FIMS 규격을 따르므로 로드 포트에 올린다는 점에서는 호환됩니다. 다만 FOSB 상단에는 OHT용 로보틱 플랜지가 없어 천장 반송에는 기본적으로 쓸 수 없습니다.
FOSB는 일회용인가요?
일회용이 아닙니다. 빈 FOSB는 웨이퍼 제조사로 돌려보내 세정·검사를 거쳐 재사용하는 것이 일반적입니다.
웨이퍼 용기는 어느 나라 기업이 만드나요?
일본의 미라이얼·신에츠폴리머, 미국의 엔테그리스, 대만의 구덩(Gudeng)이 대표적입니다. 300mm 웨이퍼를 공급하는 신에츠화학·SUMCO 같은 일본 웨이퍼 제조사의 출하에도 이런 용기가 쓰입니다.
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출처
최종 업데이트: 2026년 10월 27일