比較最後更新 2026年10月8日

FOSB與FOUP的差異(晶圓傳送盒比較)

FOSB(Front Opening Shipping Box)與FOUP(Front Opening Unified Pod)都是可容納25片300mm晶圓的前開式密閉容器,外形也十分相似。但FOUP是在晶圓廠內由OHT來回運送的「廠內傳送容器」,FOSB則是從矽晶圓廠商交到元件廠商手上的「出貨容器」。這項用途差異反映在頂部結構、耐久性、價格與運用流程等各個方面。

Verdict結論

FOSB與FOUP最大的差異在於「在哪裡使用」。FOUP用於晶圓廠內的自動化物料搬運(AMHS),頂部具備供OHT夾取的機械手臂法蘭,是可承受反覆使用的高耐久、高價格容器。FOSB用於矽晶圓廠商的出貨與運輸,頂部為把手造型,重視運輸時的防振、防衝擊與成本。兩者都符合FIMS規範,因此都能以相同方式放上載入埠。

主要差異

FOSB(出貨用)與FOUP(廠內傳送用)依比較項目比較
比較項目FOSB(出貨用)FOUP(廠內傳送用)
主要用途矽晶圓廠商→元件廠商的出貨、運輸晶圓廠內的製程間傳送、供料至設備
頂部結構手提把手(以人工、棧板運輸為前提)機械手臂法蘭(由OHT吊起)
OHT自動傳送原則上不支援(需移載或使用專用治具)支援(AMHS的標準載具)
容納片數、規格300mm×25片,符合FIMS,可放上載入埠300mm×25片,符合FIMS
耐久性、壽命可承受運輸衝擊與振動的設計,回收後重複使用可承受數千~數萬次開閉與傳送的高耐久設計
價格帶相對便宜(與運輸成本相稱的設計)昂貴(作為晶圓廠內資產管理)
N₂吹淨依出貨規格對應(也有搭配真空包裝)於載入埠、倉儲進行吹淨已成標準
主要廠商Miraial、信越聚合物、Entegris、家登(Gudeng)Entegris、信越聚合物、Miraial、家登(Gudeng)

為何出貨用與傳送用要分開使用不同容器

FOUP作為晶圓廠內資產,由OHT吊運,1天要在設備上裝卸多次,是損耗劇烈的容器。因此值得在頂部的機械手臂法蘭、定位銷與耐磨耗性上投資。另一方面,出貨用容器會交給運輸業者,在運輸途中承受振動、掉落與溫度變化,清空後再寄回。若在此使用與FOUP相同的高耐久、高價格容器,並不符合經濟效益,因此改用在運輸所需的固持結構與成本之間取得平衡的FOSB。

進料時的運用:移載還是直接使用

FOSB符合FIMS,因此可直接放上載入埠,但若要在廠內以OHT傳送,就必須移載至FOUP。移載以晶圓移載設備進行,但將晶圓逐1片移動的作業伴隨微粒混入的風險,因此會在潔淨度受控的專用區域實施。若是將裸晶圓直接投入第一道製程的運用方式,也有直接以FOSB投料的情形。

共同課題:待機期間的表面變質

無論容器種類為何,內部殘留的水分與氧氣都會造成晶圓表面的自然氧化與霧化(haze)。在磊晶晶圓、SOI晶圓等高附加價值產品的運輸中,會採用N₂吹淨規格的容器或搭配真空包裝。晶圓廠內則透過載入埠的底部吹淨與吹淨倉儲管理FOUP內的氣氛,守住對等待時間敏感的製程(EUV曝光後、Cu導線後等)的良率。

常見問題

FOSB與FOUP可以互換嗎?
兩者都符合SEMI的FIMS規格,因此就放上載入埠而言具有互換性。但FOSB頂部沒有供OHT使用的機械手臂法蘭,基本上無法以天車搬運系統傳送。若要在廠內進行自動傳送,需移載至FOUP。
FOSB是拋棄式的嗎?
不是。一般而言,清空的FOSB會寄回矽晶圓廠商,經清洗與檢查後重複使用。其作為出貨容器的經濟性,是連同回收與清洗的物流成本一起設計的。
為何晶圓出貨要使用N₂吹淨或真空包裝?
因為在運輸與保管期間,若大氣中的水分或氧氣接觸晶圓表面,會造成自然氧化膜成長或霧化(haze),影響收貨端的初期製程。對於磊晶晶圓、SOI晶圓等表面品質本身即為價值所在的產品尤其重要。

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