ウェハプローバー

ウェハプローバー（Wafer Prober）は、ダイシング前のウェハ状態で各チップの電気特性を測定・検査するCP（Chip Probing）テスト装置です。高精度プローブカードを用いてチップ上のパッドに接触し、ATEと連携して機能・電気特性を評価します。不良チップを事前に識別することで、パッケージング工程への無駄な投入を防ぎ、製造コスト削減とトレーサビリティ確保に貢献します。歩留まり向上と工程改善のための重要なデータ収集も行います。