半導体製造装置
前工程から後工程まで、露光・エッチング・成膜・CMP・洗浄・検査など
半導体製造に使用される全装置カテゴリを体系的に整理。
全カテゴリ一覧
9 カテゴリ装置・プロセス・材料・設備など全分類を確認できます。
ダイシング・ボンディング・封止・テストなど、チップを製品化する装置群
メーカー 8 社パワー半導体・MEMS・化合物半導体など用途特化の装置カテゴリ
メーカー 6 社真空ポンプ・RF電源・ガス供給・石英部品など、装置を構成するサブシステム・部品
メーカー 15 社クリーンルーム設備・超純水・排気など工場インフラ装置
メーカー 10 社AMHS・ストッカー・ウェハ搬送など工場自動化システム
メーカー 3 社露光・エッチング・成膜・洗浄・計測など、ウェハ上に回路を形成する装置群
メーカー 9 社3nm・5nmなどプロセスノードと製造工程の技術体系
メーカー 12 社フォトレジスト・CMPスラリー・特殊ガスなど製造工程で使用される材料
メーカー 12 社単結晶引上げ・スライシング・研磨・化合物基板など、ウェハを製造する上流装置群
メーカー 9 社半導体製造の工程フロー
前工程→後工程の主要ステップと対応装置カテゴリ
主要メーカー
装置分野を代表するグローバルメーカー
世界第3位の半導体製造装置メーカー。塗布現像、成膜、エッチング装置で高いシェアを誇り、先端プロセスに不可欠な技術を提供。
EUV露光装置の唯一のグローバルサプライヤー。極紫外光リソグラフィ技術でムーアの法則を延命させ、5nm以下の先端プロセスに不可欠。
世界最大の半導体製造装置サプライヤー。成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオで、ウェーハ製造の全工程をサポート。
エッチング装置の世界的リーダー。約39%の市場シェアを持ち、原子層エッチング（ALE）技術で先端3Dチップアーキテクチャを支える。
半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出と先進データ分析により、歩留まり向上とプロセス開発を加速。
世界をリードする計測・検査技術のパイオニア。電子顕微鏡技術を核とした「見る・測る・分析する」の総合力で、2nm/3nm世代の先端半導体製造をサポート。
半導体洗浄装置の世界的リーダー。表面処理、ダイレクト描画、画像処理の3大コア技術で、ナノレベルの高精度加工を実現。
バッチ式縦型CVD・熱処理装置の世界的リーダー。酸化・窒化・ALD成膜を高スループットで実現し、DRAM・NANDのゲート絶縁膜形成に不可欠。
用語解説
「〜とは」「原理」「違い」などの解説