i線ステッパー

i線ステッパーは、水銀ランプのi線（365nm）を光源とする露光装置で、主に成熟ノード（350nm以上）向けに使用されます。パワー半導体・アナログIC・ディスクリート素子など、最先端の微細化を必要としない用途において、コスト効率に優れた量産装置として重要な役割を果たします。技術的に確立されており、安定した生産性と低い運用コストが特徴です。特定用途や量産ラインで継続的に利用されています。