SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
i線ステッパーメーカー2社
i線ステッパー（i-line Stepper）は、水銀ランプのi線（波長365nm）を光源とする露光装置で、0.18μm以上の成熟ノードの半導体製造に現在も広く使用されています。ArF・EUVと比べて装置コストと運用コストが格段に低く、アナログIC・パワー半導体・センサー・MEMS・産業用デバイスなどコスト重視の量産用途に強みを持ちます。NikonとCanonが主要メーカーで、日本の露光装置産業の原点でもあります。
メーカー 2 社関連カテゴリ 3 件
主要特徴
水銀ランプのi線（365nm）を光源とする成熟した露光技術
0.18μm以上の成熟ノードで現在も大量使用（装置・運用コストが低い）
アナログIC・パワー半導体・センサー・MEMS向けに強い
Nikon・Canonが主要メーカー（ArF/EUVと異なり日本勢が優位）
EUVやDUVが使えないコスト重視ファブでは依然として不可欠
よくある質問
代表製品・スペック
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
2社の主要メーカー
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関連用語
比較・違いを学ぶ
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