i線ステッパー
i線ステッパーは、水銀ランプのi線（365nm）を光源とする露光装置で、主に成熟ノード（350nm以上）向けに使用されます。パワー半導体・アナログIC・ディスクリート素子など、最先端の微細化を必要としない用途において、コスト効率に優れた量産装置として重要な役割を果たします。技術的に確立されており、安定した生産性と低い運用コストが特徴です。特定用途や量産ラインで継続的に利用されています。
主要特徴
- •水銀ランプのi線（365nm）を光源とし成熟ノード（350nm以上）に対応
- •パワー半導体・アナログIC・MEMS等の非先端用途に最適
- •装置価格と運用コストが低くコスト効率に優れる
- •技術的に高度に確立され安定した生産性を提供
- •自動車・産業機器向け半導体の量産で継続的に活躍
よくある質問
i線ステッパーはどのような用途に使われますか？
i線ステッパーは、パワー半導体、アナログIC、MEMS、ディスクリート素子など350nm以上の成熟ノードデバイスの量産に使われます。最先端の微細化が不要な製品に最適なコスト効率の高い装置です。
i線ステッパーのメーカーはどこですか？
i線ステッパーの主なメーカーはニコン（日本）とキヤノン（日本）です。両社とも成熟ノード向け露光装置で高いシェアを持ちます。
i線ステッパーはEUVやDUVとどう違いますか？
光源波長が異なります（EUV：13.5nm、DUV-ArF：193nm、i線：365nm）。波長が長いほど解像度は低くなりますが、装置コストは大幅に下がります。i線は先端プロセスには不向きですが、成熟ノードではコスト効率に最も優れた選択肢です。
関連用語（用語集）
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