当サイトでの位置づけ
後工程のバックグラインド・ウェハ研磨カテゴリで、ウェハ薄化と仕上げ研磨を担う日本の老舗精密機械メーカーとして参照されます。
企業の強み
ウェハバックグラインダーで国内主要メーカー
精密研削・研磨技術における長年の実績
パワー半導体・MEMS向け薄化プロセスで存在感
主要製品・ソリューション
バックグラインダー
- •VG-502 MKII
研磨装置
- •ウェハポリッシャー
- •CMP装置
関連装置カテゴリ
関連用語
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