研磨装置（ポリッシャー）

ポリッシャー（Polisher）は、研磨パッドと研磨スラリーを用いてウェハ裏面を精密研磨し、表面粗さの低減と平坦性向上を実現する装置です。バックグラインド後の微小ダメージ層を除去し、表面品質を改善することで、ウェハ強度向上とクラック発生リスクの低減を図ります。鏡面仕上げにより、後工程での接着性や放熱特性も向上します。CMP（化学機械研磨）技術を応用した高精度加工が可能です。