ダイシングソー

ダイシングソー（Dicing Saw）は、高速回転するダイヤモンド砥石ブレードを用いて、ウェハを個々のチップに精密切断・分離する装置です。切断精度は±数μm以内が求められ、チッピング（欠け）やクラック発生を最小限に抑える高度な加工技術が必要です。切断速度、ブレード厚、切削水の管理など、多様なパラメータの最適化により、高品質なチップ分離と高い生産性を両立します。