SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
ダイシング・研削メーカー3社Dicing & Grinding
ダイシング・研削は、前工程で加工されたウェハを個片チップへ分割し、厚みや外観品質を整える後工程の入口に位置します。目的は、チップ寸法精度と端面品質(欠け・クラック・チッピング)の管理、ならびに後段の実装/封止工程に耐える機械的強度の確保です。材料(ウェハ材質、ダイボンド材、保護フィルム)や加工条件が欠陥発生に直結するため、検査装置での欠陥検出・解析、計測装置での寸法/形状管理とセットで最適化します。
メーカー 3 社サブカテゴリ 4 件
重要ポイント
後工程の入口:ウェハをチップに分割し品質を整える
欠け/クラック等の機械欠陥を抑え、歩留まりを守る
加工条件×材料で結果が大きく変わる(最適化必須)
検査・計測と組み合わせて欠陥管理/条件管理を行う
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メーカー
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