SEMICONDUCTOR EQUIPMENT

ダイシング・研削メーカー3Dicing & Grinding

ダイシング・研削は、前工程で加工されたウェハを個片チップへ分割し、厚みや外観品質を整える後工程の入口に位置します。目的は、チップ寸法精度と端面品質(欠け・クラック・チッピング)の管理、ならびに後段の実装/封止工程に耐える機械的強度の確保です。材料(ウェハ材質、ダイボンド材、保護フィルム)や加工条件が欠陥発生に直結するため、検査装置での欠陥検出・解析、計測装置での寸法/形状管理とセットで最適化します。

メーカー 3サブカテゴリ 4

重要ポイント

後工程の入口:ウェハをチップに分割し品質を整える
欠け/クラック等の機械欠陥を抑え、歩留まりを守る
加工条件×材料で結果が大きく変わる(最適化必須)
検査・計測と組み合わせて欠陥管理/条件管理を行う

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メーカー

3社の主要メーカー

DISCO日本

「切る・削る・磨く」技術の世界的リーダー。ダイシングソー、グラインダで市場トップシェアを持ち、超薄ウェーハ加工の完全ソリューションを提供。

  • ダイシングソー、グラインダで世界トップシェア
  • 超薄ウェーハ加工の完全ソリューション
  • 高精度な「切る・削る・磨く」技術
岡本工作機械製作所日本

精密研削・研磨装置の老舗メーカー。半導体向けバックグラインダー・ポリッシャー・CMPなど、ウェハ薄化と平坦化工程に強み。

  • ウェハバックグラインダーで国内主要メーカー
  • 精密研削・研磨技術における長年の実績
  • パワー半導体・MEMS向け薄化プロセスで存在感
タカトリ日本

奈良に本社を置く精密機械メーカー。シリコンやSiCのインゴットを切断するワイヤソーに加え、半導体・電子部品向けのダイシング関連装置や貼合・剥離装置を手掛ける。

  • ワイヤソーとダイシング装置の両方を保有
  • SiCなど硬脆材料の切断・加工技術
  • 貼合・剥離など周辺プロセス装置も供給

関連カテゴリ

関連用語

ダイボンダーとは →ワイヤボンダーとは →ウェハプローバーとは →
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