ダイボンダーメーカー3社

ダイボンダー(Die Bonder)は、選別された良品チップを基板・リードフレーム・パッケージ基材へ高精度に搭載・固定する実装装置です。エポキシ系接着剤や銀ペースト、はんだなどの接合材を用いて、±数μmの位置決め精度でチップを実装します。ピックアップ、アライメント、ボンディングの各工程を自動化し、高速・高精度な実装と高い生産性を両立します。先端パッケージでは、フリップチップや3Dスタック実装にも対応した高度な装置が求められています。

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主要特徴

ダイシング後チップをリードフレーム・基板・他ダイ上に精密搭載
エポキシ・DAF(ダイアタッチフィルム)・共晶はんだで接合
チップレット・3D積層では±1μm以下のサブμm精度が要求
フリップチップ・スタック実装にも対応する多機能化が進む
高精度カメラ・AI補正で搭載精度とスループット(UPH)を両立

よくある質問

ダイボンダーとフリップチップボンダーの違いは?▾
ダイボンダーは主にダイの裏面(バックサイド)を基板に接着します。フリップチップボンダーはダイを反転(フリップ)させて表面のバンプ電極を基板の電極に直接接合します。先進パッケージでは両方の機能を統合したハイブリッドボンダーも普及しています。
主要装置メーカーは?▾
Besi(蘭)、ASM Pacific Technology(香港)、Kulicke & Soffa(米)、東レエンジニアリング(日)などが主要メーカーです。先進パッケージ需要の拡大で各社が高精度機の開発を加速しています。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目ファスフォードテクノロジDB830plus+ シリーズファスフォードテクノロジDB820
接合方式DAF・ペースト(2-in-1)ペースト(DAF にも対応)
シリーズ構成DB830plus+D/DB830plus+/DB830plusH/DB830plusS単機種(最小 □0.3 mm ダイに対応)
特徴中間ステージ採用・薄ダイボンディング・多段積層小ダイボンディング・高解像度光学検査
主要用途メモリ積層パッケージ・汎用パッケージロジック・アナログ(ASIC)製品

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

代表製品・スペック

製品写真
ファスフォードテクノロジ

DB830plus+ シリーズ

DAFプロセスの積層パッケージとペーストプロセスの汎用品の両方に対応する2-in-1コンセプトの高精度ダイボンダ。ダイレクトモードとパラレルモードを切り替えられる。

接合方式DAF・ペースト(2-in-1)
シリーズ構成DB830plus+D/DB830plus+/DB830plusH/DB830plusS
特徴中間ステージ採用・薄ダイボンディング・多段積層
主要用途メモリ積層パッケージ・汎用パッケージ
製品写真
ファスフォードテクノロジ

DB820

ロジック・アナログ製品向けのペーストプロセス用ダイボンダ。小さなダイと高密度な小型パッケージに対応する。

接合方式ペースト(DAF にも対応)
シリーズ構成単機種(最小 □0.3 mm ダイに対応)
特徴小ダイボンディング・高解像度光学検査
主要用途ロジック・アナログ(ASIC)製品

※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

メーカー

3社の主要メーカー

村田機械(Muratec)日本

半導体ファブ向けAMHS(OHT・ストッカー)と後工程実装周辺装置を手掛ける総合メーカー。Daifukuと並ぶクリーンルーム搬送の主要プレーヤー。

搬送・保管システム
OHTストッカー
実装関連装置
ダイボンダー
  • •OHT(天井搬送システム)で世界トップクラスのシェア
  • •ストッカー・自動倉庫との統合ソリューション
会社詳細
東レエンジニアリング日本

東レグループのエンジニアリング会社。半導体分野ではフリップチップボンダなどの実装装置、外観検査装置、塗布装置を供給し、先端パッケージ向けの高精度接合に対応する。

実装装置
フリップチップボンダダイボンダ
検査装置
外観検査装置
  • •フリップチップボンダの高精度アライメント
  • •実装装置と検査装置を横断して供給
会社詳細
ファスフォードテクノロジ日本

半導体製造装置のダイボンダを専業とするメーカー(旧日立ハイテクインスツルメンツのダイボンダ事業を継承)。ダイシング後のチップをリードフレームや基板に接合するダイボンダを開発・製造し、国内外の半導体メーカーと OSAT に供給する。

ダイボンダ
ダイボンダフリップチップボンダ
  • •ダイボンダ専業の開発体制
  • •メモリ積層など多段ボンディングへの対応
会社詳細

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