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日立ハイテク
世界をリードする計測・検査技術のパイオニア。電子顕微鏡技術を核とした「見る・測る・分析する」の総合力で、2nm/3nm世代の先端半導体製造をサポート。
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当サイトでの位置づけ
CD-SEM・ウェハ・マスク検査など、計測と検査の境界で「寸法と欠陥」を同時に扱う製品群を持つ点が、Semirai のカテゴリ横断で参照されやすい特徴です。
企業の強み
CD-SEM（測長SEM）で世界シェア約80%を占める圧倒的なポジション
2nm/3nm世代の先端プロセスに不可欠な計測技術を提供
電子顕微鏡技術を基盤とした検査・分析・加工の一貫ソリューション
主要製品・ソリューション
検査・計測装置
- •CD-SEM
- •ウェハ検査装置
- •マスク検査装置
- •膜厚計測装置
加工装置
- •プラズマエッチング装置
分析装置
- •走査電子顕微鏡（SEM）
- •透過電子顕微鏡（TEM）
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、日立ハイテクを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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