当サイトでの位置づけ
CD-SEM・ウェハ・マスク検査など、計測と検査の境界で「寸法と欠陥」を同時に扱う製品群を持つ点が、Semirai のカテゴリ横断で参照されやすい特徴です。
企業の強み
CD-SEM（測長SEM）で世界シェア約80%を占める圧倒的なポジション
2nm/3nm世代の先端プロセスに不可欠な計測技術を提供
電子顕微鏡技術を基盤とした検査・分析・加工の一貫ソリューション
主要製品・ソリューション
検査・計測装置
- •CD-SEM
- •ウェハ検査装置
- •マスク検査装置
- •膜厚計測装置
加工装置
- •プラズマエッチング装置
分析装置
- •走査電子顕微鏡（SEM）
- •透過電子顕微鏡（TEM）
日立ハイテクの製品
LS9300AD（異物・パーティクル検査装置）DI4600（暗視野式ウェーハ欠陥検査装置）（ウェハ検査装置）DI2800（光学式ウェーハ検査装置）CR7300（レビューSEM）GT2000（高精度電子線計測システム）（CD-SEM）CG7300（高分解能FEB測長装置）（CD-SEM）イオンミリング装置 ArBlade® 5000（IC開封・断面加工装置）ナノ・プローバ® NP8000（故障解析装置）SU7000（形態観察装置（SEM/TEM））NEXTA® STA200（熱分析装置（TG-DTA/DSC））9000 シリーズ（コンダクターエッチング装置）（ポリシリコンエッチャー）M-8000 シリーズ（コンダクターエッチング装置）（ポリシリコンエッチャー）M-600／6000 シリーズ（コンダクターエッチング装置）（パワー半導体）CV7300（高加速 CD-SEM）（CD-SEM）CS5000（高分解能 FEB 測長装置）（CD-SEM）CT1000（欠陥形状評価 SEM）（レビューSEM）
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、日立ハイテクを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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同じトピックの用語
エッチング・検査・計測 のトピックで関連する用語です。
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