日立ハイテク
世界をリードする計測・検査技術のパイオニア。電子顕微鏡技術を核とした「見る・測る・分析する」の総合力で、2nm/3nm世代の先端半導体製造をサポート。
企業の強み
- ✓CD-SEM（測長SEM）で世界シェア約80%を占める圧倒的なポジション
- ✓2nm/3nm世代の先端プロセスに不可欠な計測技術を提供
- ✓電子顕微鏡技術を基盤とした検査・分析・加工の一貫ソリューション
主要製品
検査・計測装置
- CD-SEM
- ウェハ検査装置
- マスク検査装置
- 膜厚計測装置
加工装置
- プラズマエッチング装置
分析装置
- 走査電子顕微鏡（SEM）
- 透過電子顕微鏡（TEM）