日立ハイテク

CD-SEM・ウェハ・マスク検査など、計測と検査の境界で「寸法と欠陥」を同時に扱う製品群を持つ点が、Semirai のカテゴリ横断で参照されやすい特徴です。

世界をリードする計測・検査技術のパイオニア。電子顕微鏡技術を核とした「見る・測る・分析する」の総合力で、2nm/3nm世代の先端半導体製造をサポート。

企業の強み

主要製品

検査・計測装置

  • CD-SEM
  • ウェハ検査装置
  • マスク検査装置
  • 膜厚計測装置

加工装置

  • プラズマエッチング装置

分析装置

  • 走査電子顕微鏡(SEM)
  • 透過電子顕微鏡(TEM)

関連装置カテゴリ

関連用語

公式サイト

https://www.hitachi-hightech.com