検査装置（Inspection Equipment）

検査装置は、ウェハ製造プロセスの各工程で発生する欠陥を検出し、歩留まり向上と品質保証を実現する装置群です。パターン欠陥検査・マスク検査・ウェハ表面検査など、工程の種類に応じた専用装置が使用されます。微細化が進むほど検出すべき欠陥サイズも小さくなり、ナノメートルレベルの欠陥を高速かつ高精度に見つける技術が求められます。検査装置は「問題の早期発見」により製造コストを削減し、不良品の流出を防ぐ重要な役割を果たします。計測装置（Metrology）が「寸法・膜厚などの数値を測る」のに対し、検査装置は「欠陥の有無を判定する」ことに特化しています。両者は相補的な関係にあり、製造プロセスの品質管理に不可欠です。