計測装置（Metrology Equipment）

計測装置は、ウェハ製造プロセスにおけるパターン寸法・膜厚・オーバレイ（位置ずれ）などの数値を精密に測定する装置群です。CD-SEM（Critical Dimension SEM）やオーバレイ計測装置など、測定対象に応じた専用装置が使用されます。微細化が進むほど許容誤差は厳しくなり、ナノメートル以下の精度で測定・管理することが求められます。計測装置は「プロセスが設計通りに実行されているか」を数値で確認し、装置の調整やプロセス最適化のための重要なフィードバックを提供します。検査装置（Inspection）が「欠陥の有無を判定」するのに対し、計測装置は「寸法・位置などの数値を測定」することに特化しています。両者は製造プロセスの品質管理において車の両輪として機能します。