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ウェハレベルパッケージングメーカー2

ウェハレベルパッケージング(WLP:Wafer Level Packaging)は、ダイシング前のウェハ状態で再配線層形成、バンプ形成、保護膜形成などのパッケージング工程を一括実施する先端技術です。Fan-In型(WLCSP)による超小型化、Fan-Out型(FOWLP)による高密度I/O配線、さらには2.5D/3D積層実装への対応により、モバイル機器やAIチップ向けの高性能・小型・薄型パッケージを実現します。従来の個片パッケージングと比較して、大幅なコスト削減と製造効率向上も達成します。

メーカー 2関連カテゴリ 6

主要特徴

ウェハ状態で一括パッケージング工程を実施しコスト削減
Fan-In型(WLCSP)で超小型化を実現
Fan-Out型(FOWLP)で高密度I/O配線に対応
2.5D/3D積層実装対応で先端デバイスに最適
モバイル機器・AIチップ向けの高性能・薄型パッケージ

代表製品・スペック

製品写真
Suss MicroTec
SUSS MA/BA300 Gen4(WLP 露光装置)

SUSS MicroTecのWLP向けアライナー。ウェハレベルパッケージの再配線層(RDL)形成に使用。

対応ウェハ径最大 300 mm
光源波長365 nm(i線)
アライメント精度±1 μm 以内
主要用途WLP再配線層・バンプ形成用リソグラフィ
露光方式コンタクト / プロキシミティ
Suss MicroTec の企業情報を見る →
製品写真
EV Group
EVG 580 ComBond(ウェハ接合)

EV GroupのウェハtoウェハCu-Cu直接接合装置。3D-ICスタッキングの中核技術に対応。

対応ウェハ径最大 300 mm
接合方式Cu-Cu 直接接合 / ハイブリッドボンディング
アライメント精度< 0.5 μm(3σ)
接合温度200 ~ 400 °C
主要用途3D-IC・HBM・CIS ウェハスタッキング
EV Group の企業情報を見る →

※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

メーカー

2社の主要メーカー

Suss MicroTecドイツ

ドイツを拠点とする半導体製造装置メーカー。ウェーハレベルパッケージングおよび先端リソグラフィ技術のスペシャリスト。

ウェーハレベルパッケージング装置
ボンディング装置コーティング装置
リソグラフィ装置
マスクアライナー
  • ウェーハレベルパッケージング装置における専門性
  • マスクアライナーおよび基板ボンディング技術
EV Groupオーストリア

オーストリアを拠点とするウェーハボンディングおよびリソグラフィ装置の世界的リーダー。先端パッケージングおよびMEMS製造に強み。

ウェーハボンディング装置
ウェーハレベルボンディングシステムハイブリッドボンディング装置
リソグラフィ装置
マスクアライナーインプリント装置
  • ウェーハボンディング技術における世界トップシェア
  • 2.5D/3Dパッケージング向けソリューション

関連カテゴリ

ダイボンダー
フリップチップボンダー
封止装置(モールディング)
アンダーフィル装置
ウェハマウンタ
ワイヤボンダー

関連用語

先端パッケージングとは →チップレットとは →HBM(高帯域幅メモリ)とは →ウェハボンディングとは →TSV(シリコン貫通ビア)とは →フリップチップとは →WLCSP(ウェハレベルチップスケールパッケージ)とは →ハイブリッドボンディングとは →InFO(ファン・アウトウェハレベルパッケージング)とは →FOPLP(ファン・アウトパネルレベルパッケージング)とは →PLP(パネルレベルパッケージング)とは →2.5Dパッケージングとは →

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