EV Group

オーストリアを拠点とするウェーハボンディングおよびリソグラフィ装置の世界的リーダー。先端パッケージングおよびMEMS製造に強み。

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当サイトでの位置づけ

ウェーハレベルボンディングや2.5D/3D 向けの接合装置を扱う点で、先端パッケージング用語・カテゴリからの導線が強くなります。

企業の強み

ウェーハボンディング技術における世界トップシェア
2.5D/3Dパッケージング向けソリューション
MEMS・パワーデバイス向け専用装置

主要製品・ソリューション

ウェーハボンディング装置

  • •ウェーハレベルボンディングシステム
  • •ハイブリッドボンディング装置

リソグラフィ装置

  • •マスクアライナー
  • •インプリント装置

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