EV Group
ウェーハレベルボンディングや2.5D/3D 向けの接合装置を扱う点で、先端パッケージング用語・カテゴリからの導線が強くなります。
オーストリアを拠点とするウェーハボンディングおよびリソグラフィ装置の世界的リーダー。先端パッケージングおよびMEMS製造に強み。
企業の強み
- ✓ウェーハボンディング技術における世界トップシェア
- ✓2.5D/3Dパッケージング向けソリューション
- ✓MEMS・パワーデバイス向け専用装置
主要製品
ウェーハボンディング装置
- ウェーハレベルボンディングシステム
- ハイブリッドボンディング装置
リソグラフィ装置
- マスクアライナー
- インプリント装置