フリップチップボンダーメーカー4社

フリップチップボンダー(Flip Chip Bonder)は、チップを裏返して基板に直接実装し、はんだバンプを介して電気・機械接続を行う先端実装装置です。従来のワイヤボンディングと比較して、配線長の短縮による高速信号伝送、狭ピッチ・高密度I/O接続、優れた熱放散性能を実現します。リフロー接合やサーモコンプレッション接合など、用途に応じた接合技術を適用し、高性能プロセッサやAI向けチップ、先端メモリデバイスの実装に不可欠な技術です。

メーカー 4 社同じ分野の装置 11 カテゴリ
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主要特徴

配線長短縮により高速信号伝送を実現
狭ピッチ・高密度I/O接続で先端デバイスに対応
優れた熱放散性能でチップ性能向上
リフロー・サーモコンプレッション等の接合技術
高性能プロセッサ・AI向けチップの実装に不可欠

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目Kulicke & SoffaKatalyst(フリップチップボンダー)BesiDatacon 8800 FC QUANTUM advancedBesiDatacon 8800 FC QUANTUM advXBesiEsec 2100 FC hS
スループット15K UPH(Sprint)最大 10,000 UPH最大 10k UPH—
搭載精度3 µm 未満±5 µm @3σ——
1機種だけが掲載している項目(9件)
特徴UPH を落とさない自動精度校正・熱ドリフト補正———
主要用途フリップチップの基板/ウェーハ搭載———
ダイサイズ—0.3 ~ 20 mm——
ボンド荷重—2 ~ 50 N——
チップサイズ——0.3〜40 mm—
配置精度——4 µm—
精度・速度———8µm・最大 16,000 UPH
対象———FCOL・FC-MIS・FC-SIP・FCCSP・FCBGA・CSP-LED
機構———Phi-Y ピックアンドプレース・液冷

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

代表製品・スペック

製品写真
Kulicke & Soffa

Katalyst(フリップチップボンダー)

高い精度と速度を両立した K&S のフリップチップボンダー。基板・ウェーハのどちらにも 3µm 未満の精度で搭載する。

搭載精度3 µm 未満
スループット15K UPH(Sprint)
特徴UPH を落とさない自動精度校正・熱ドリフト補正
主要用途フリップチップの基板/ウェーハ搭載
製品写真
Besi

Datacon 8800 FC QUANTUM advanced

マスリフロー方式のフリップチップ向けの Besi の搭載装置。ガラスベースのフラクサーで同時検査する CRYSTAL コンセプトを持つ。

搭載精度±5 µm @3σ
スループット最大 10,000 UPH
ダイサイズ0.3 ~ 20 mm
ボンド荷重2 ~ 50 N
製品写真
Besi

Datacon 8800 FC QUANTUM advX

Besi の最新のフリップチップボンダー。0.3〜40mm のチップに対応し、配置精度 4µm・最大 1 万 UPH。

チップサイズ0.3〜40 mm
配置精度4 µm
スループット最大 10k UPH
製品写真
Besi

Esec 2100 FC hS

市場をリードする高速フリップチッププラットフォームの第 3 世代。精度 8µm で最大 16,000 UPH。

精度・速度8µm・最大 16,000 UPH
対象FCOL・FC-MIS・FC-SIP・FCCSP・FCBGA・CSP-LED
機構Phi-Y ピックアンドプレース・液冷

※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

メーカー

4社の主要メーカー

Kulicke & Soffa米国

半導体パッケージング装置の世界的リーダー。ワイヤーボンディング、ダイボンディング、先端パッケージング装置で圧倒的なシェアを持つ。

ワイヤーボンディング装置
ボールボンダーウェッジボンダー
ダイボンディング装置
フリップチップボンダーハイブリッドボンディングシステム
  • •ワイヤーボンディング装置における世界トップシェア
  • •フリップチップ、ハイブリッドボンディングなど先端実装技術
会社詳細
Besiオランダ

オランダを拠点とする半導体組立装置の世界的リーダー。ダイアタッチ装置で42%の市場シェアを持ち、ハイブリッドボンディング技術で業界をリード。

ダイボンディング装置
シングルチップ・マルチチップボンダーハイブリッドボンディングシステムFOWLP装置
パッケージング装置
モールディングシステムトリム&フォーム装置
  • •ダイアタッチ装置で世界シェア42%のトップポジション
  • •ハイブリッドボンディング装置における技術的優位性
会社詳細
Suss MicroTecドイツ

ドイツを拠点とする半導体製造装置メーカー。ウェーハレベルパッケージングおよび先端リソグラフィ技術のスペシャリスト。

ウェーハレベルパッケージング装置
ボンディング装置コーティング装置
リソグラフィ装置
マスクアライナー
  • •ウェーハレベルパッケージング装置における専門性
  • •マスクアライナーおよび基板ボンディング技術
会社詳細
東レエンジニアリング日本

東レグループのエンジニアリング会社。半導体分野ではフリップチップボンダなどの実装装置、外観検査装置、塗布装置を供給し、先端パッケージ向けの高精度接合に対応する。

実装装置
フリップチップボンダダイボンダ
検査装置
外観検査装置
  • •フリップチップボンダの高精度アライメント
  • •実装装置と検査装置を横断して供給
会社詳細

同じ分野の装置カテゴリ

ボールマウンター・バンプ形成装置

ボールマウンターは、BGAやCSPのパッケージ基板、またはウェーハの電極パッドに、はんだボールを一括で搭載する装置です。

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後工程のプラズマクリーナーは、ダイボンディング・ワイヤボンディング・モールド・アンダーフィルの前に、リードフレームやパッケージ基板、チップ表面をプラズマで処理する装置です。

メーカー 3 社
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リフロー炉は、はんだペーストやはんだボール、バンプを溶かして接合するための加熱炉です。

メーカー 2 社
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メーカー 2 社
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アンダーフィル装置は、フリップチップ接続されたチップと基板の間の空間に液状エポキシ樹脂(アンダーフィル材)を充填・硬化させる後工程装置です。

メーカー 3 社
ウェハレベルパッケージング

ウェハレベルパッケージング(WLP:Wafer Level Packaging)は、ダイシング前のウェハ状態で再配線層形成、バンプ形成、保護膜形成などのパッケージング工程を一括実施する先端技術です。

メーカー 9 社
ウェハマウンタ

ウェハマウンタ(ダイシングテープマウンタ)は、ダイシング工程前にウェハをダイシングフレーム(リングフレーム)に固定されたテープに貼り付ける装置です。

メーカー 4 社
ワイヤボンダー

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メーカー 4 社

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