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ドライ洗浄装置
ドライ洗浄装置
ドライ洗浄は、プラズマやガスなどを用いて汚染物を除去する洗浄方式です。水や薬液を使いにくい工程や、乾式処理が求められる場面で活用されます。
関連企業
東京エレクトロン(TEL)
JP
公式サイト
Lam Research
US
公式サイト
関連カテゴリ
バッチ洗浄装置
シングルウェハ洗浄装置
ウェット洗浄装置