シングルウェハ洗浄装置
シングルウェハ洗浄装置は、1枚ずつウェハを処理する方式の洗浄装置です。高い洗浄性能とプロセス制御性が求められる工程で使用されます。
主要特徴
- •1枚ずつ個別処理でクロスコンタミネーションを防止
- •回転基板へ薬液・超純水・乾燥を順次供給
- •パーティクル・金属・有機汚染を高精度除去
- •14nm以下の先端プロセスで主流の洗浄方式
- •各ウェハへの均一処理と精密薬液制御を実現
関連用語（用語集）
定義・用語の概要は用語集で解説しています。
シングルウェハ洗浄装置は、1枚ずつウェハを処理する方式の洗浄装置です。高い洗浄性能とプロセス制御性が求められる工程で使用されます。
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