バッチ洗浄装置
バッチ洗浄装置は、複数枚のウェハをまとめて処理する洗浄装置です。スループットとコスト効率に優れ、工程に応じて薬液・温度・攪拌条件が最適化されます。
主要特徴
- •25〜50枚同時処理で高スループットを実現
- •RCA洗浄プロセス（SC-1・SC-2）を一括処理
- •成熟ノード・大量生産ラインで広く採用
- •超音波・メガソニック機能でパーティクル除去向上
- •装置コストが低く運用の安定性が高い
関連用語（用語集）
定義・用語の概要は用語集で解説しています。
バッチ洗浄装置は、複数枚のウェハをまとめて処理する洗浄装置です。スループットとコスト効率に優れ、工程に応じて薬液・温度・攪拌条件が最適化されます。
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