Lam Research

当サイトのエッチング関連カテゴリ(ドライ・導体・絶縁膜等)において、プロセスの主役となる装置群を代表するメーカーとして一覧・用語から参照されます。

エッチング装置の世界的リーダー。約39%の市場シェアを持ち、原子層エッチング(ALE)技術で先端3Dチップアーキテクチャを支える。

企業の強み

主要製品

エッチング装置

  • Kiyo
  • Flex
  • Vantex
  • Akara

成膜装置

  • デポジションシステム

洗浄装置

  • ウェーハ洗浄装置

関連用語

公式サイト

https://www.lamresearch.com