Lam Research
エッチング装置の世界的リーダー。約39%の市場シェアを持ち、原子層エッチング(ALE)技術で先端3Dチップアーキテクチャを支える。
企業の強み
- ✓エッチング装置で世界シェア約39%のトップポジション
- ✓原子層エッチング(ALE)技術における技術リーダーシップ
- ✓GAA、3D NAND、DRAMなど先端3Dアーキテクチャのサポート
主要製品
エッチング装置
- Kiyo
- Flex
- Vantex
- Akara
成膜装置
- デポジションシステム
洗浄装置
- ウェーハ洗浄装置
エッチング装置の世界的リーダー。約39%の市場シェアを持ち、原子層エッチング(ALE)技術で先端3Dチップアーキテクチャを支える。