当サイトでの位置づけ
Semirai のカテゴリでは、コータ/デベロッパ・成膜・エッチングを横断する総合装置メーカーとして、前工程の多層膜形成とパターン化を同一ラインで支援する立場にあります。
企業の強み
コータ/デベロッパで世界トップクラスのシェア
塗布、成膜、エッチング装置の総合ラインナップ
先端プロセスに対応する幅広い技術ポートフォリオ
主要製品・ソリューション
塗布現像装置
- •CLEAN TRACK ACT
- •CLEAN TRACK LITHIUS
エッチング装置
- •Tactras
- •Certas
成膜装置
- •Episode
- •Triase+
- •TELINDY PLUS
東京エレクトロン（TEL）の製品
TELINDY PLUS（拡散炉）CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z（コータ／デベロッパ）Tactras™（ドライエッチング装置）EXPEDIUS™-i（バッチ式洗浄装置）（ウェットエッチング装置）Episode™ UL（材料別エッチャー）CELLESTA™-i（枚葉洗浄装置）（シングルウェハ洗浄装置）ZETA™+（バッチスプレー式洗浄装置）（バッチ洗浄装置）Certas LEAGA™（ガスケミカルエッチング）（ドライ洗浄装置）ANTARES™（エアロゾル洗浄装置）（ドライ洗浄装置）TELINDY PLUS™ IRad™（バッチ式ALD）（ALD装置）NT333™（セミバッチ式ALD）（ALD装置）Triase+™ W（枚葉式W-CVD）（CVD装置）LEXIA™-EX（PVD）（PVD装置）CLEAN TRACK LITHIUS Pro DICE（コータ／デベロッパ）Precio™ XL（ウェーハプローバ）（ウェハプローバー）Synapse™ Si（ウェーハボンダー）（CMOSイメージセンサー製造装置）CELLESTA™ Pro SPM（レジスト剥離装置（ウェット））CELLESTA™ SCD（ウェハ乾燥装置）NS300Z（ウェハスクラバ）EVAROS™（拡散炉）TELFORMULA™（拡散炉）ALPHA-8SE™ i（拡散炉）Triase+™ EX-II™ TiN（CVD装置）Triase+™ Ti/TiN（CVD装置）Triase+™ SPAi（RTP（急速熱処理）装置）Episode™ 1（CVD装置）Episode™ 2 DMR（CVD装置）EXIM™（PVD装置）CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ AP（コータ／デベロッパ）CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ V（コータ／デベロッパ）CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™（コータ／デベロッパ）UNITY™ Me+（SiCパワー半導体製造装置）CELLESTA™-i MD（シングルウェハ洗浄装置）CELLESTA™ MS2（ウェハスクラバ）Prexa™（ウェハプローバー）Prexa™ MS（ウェハプローバー）Prexa™ SDP（最終テスト装置）Cellcia™（ウェハプローバー）WDF™ 12DP+（ウェハプローバー）Precio octo™（ウェハプローバー）Synapse™ V／Synapse™ Z Plus（TSV形成装置）Ulucus™ L（ハイブリッドボンディング装置）Ulucus™ LX（ハイブリッドボンディング装置）Ulucus™ G（バックグラインダー）
関連装置カテゴリ
エッチング装置
エッチング装置は、ウェハ上の薄膜から不要な部分を除去し、微細な回路パターンを形成する前工程の中核装置です。
メーカー 7 社洗浄装置洗浄装置は、半導体製造プロセスにおいてウェハ表面のパーティクル（微粒子）、金属不純物、有機物、自然酸化膜などの汚染物質を除去する最も頻繁に使用される重要な前工程装置です。
メーカー 6 社成膜装置（CVD/ALD）成膜装置は、ウェハ表面に絶縁膜、導電膜、半導体膜などの薄膜を数百ナノメートルから原子レベルの厚さで形成する前工程の重要装置です。
メーカー 9 社コーター・デベロッパ露光装置（リソグラフィ装置）は、マスク（レチクル）に描かれた回路パターンをウェハ上のフォトレジストに光を用いて転写する装置群です。
メーカー 6 社半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、東京エレクトロン（TEL）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
同じトピックの用語
エッチング・成膜（CVD/PVD/ALD）・CMOSイメージセンサー製造・ウェハ洗浄・スマートファブ・製造管理・サプライチェーン・業界構造・配線・メタライゼーション・経済安全保障・輸出管理・ゲートスタック（High-k/メタルゲート）・中古装置・成熟ノード のトピックで関連する用語です。
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