PVD装置

PVD装置は、物理的手法により材料を蒸発・スパッタして薄膜を形成する成膜装置で、金属膜形成に広く用いられます。

関連企業

• Applied MaterialsUS公式サイト
• 東京エレクトロン（TEL）JP公式サイト

関連カテゴリ

• ALD装置
• CVD装置
• エピタキシャル成長装置