ホーム
/
半導体製造装置
/
前工程装置
/
成膜装置
成膜装置
このカテゴリは半導体製造の中で成膜装置に関わる装置・プロセスを扱います。後日、工程観点で解説を追加します。
下位カテゴリ
ALD装置
CVD装置
エピタキシャル成長装置
PVD装置