成膜装置メーカー9社Deposition Equipment

世界最大の半導体製造装置サプライヤー。成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオで、ウェーハ製造の全工程をサポート。

• •世界最大の半導体製造装置サプライヤー
• •成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオ
• •先端ノード向けの革新的技術開発

世界第3位の半導体製造装置メーカー。塗布現像、成膜、エッチング装置で高いシェアを誇り、先端プロセスに不可欠な技術を提供。

• •コータ/デベロッパで世界トップクラスのシェア
• •塗布、成膜、エッチング装置の総合ラインナップ
• •先端プロセスに対応する幅広い技術ポートフォリオ

エッチング装置の世界的リーダー。約39%の市場シェアを持ち、原子層エッチング（ALE）技術で先端3Dチップアーキテクチャを支える。

• •エッチング装置で世界シェア約39%のトップポジション
• •原子層エッチング（ALE）技術における技術リーダーシップ
• •GAA、3D NAND、DRAMなど先端3Dアーキテクチャのサポート

バッチ式縦型CVD・熱処理装置の世界的リーダー。酸化・窒化・ALD成膜を高スループットで実現し、DRAM・NANDのゲート絶縁膜形成に不可欠。

• •バッチ式縦型CVDで世界最高水準のスループット
• •バッチALD装置による高アスペクト比への均一成膜
• •DRAM・NAND向け酸化膜・窒化膜プロセスに深い実績

真空技術を核に、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング・測定装置を手がける日本の総合真空機器メーカー。半導体に加えFPD・太陽電池にも展開。

• •真空ポンプからプロセス装置まで一貫した垂直統合
• •スパッタリング装置で国内トップクラス
• •FPD・太陽電池向け大面積成膜技術

MOCVD・MBE・ALDなど薄膜エピタキシャル成長装置の専業メーカー。LED、化合物半導体、先端ロジック向けの精密成膜技術を提供。

• •MOCVD装置でグローバルトップシェア
• •MBE・ALDを含む多様な薄膜成長技術ポートフォリオ
• •化合物半導体・LEDプロセスへの深い専門性

ALD（原子層堆積）装置とエピタキシャル成長装置のグローバルリーダー。次世代ロジック・メモリプロセスに不可欠な高品質薄膜形成技術を提供。

• •ALD装置で世界トップシェア。GAA・FinFET向けハイK/メタルゲートに必須
• •SiGe・III-Vエピタキシャル成長装置でも高い技術力
• •ASMLとの連携でオランダ半導体装置エコシステムの中核を担う

ALD・CVD装置を中核に展開する韓国の半導体装置メーカー。3D NAND・FinFET向けの薄膜形成装置でサムスン・SKハイニックスに採用実績を持つ。

• •バッチ式ALD装置で韓国国内トップシェア。メモリ向け量産実績が豊富
• •低圧CVD（LPCVD）・プラズマCVD（PECVD）も展開
• •ASM Internationalと並ぶALDの有力サプライヤー

ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。

• •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
• •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
• •Newport光学・レーザー技術との融合製品群