ALD装置

ALD装置は、半導体製造において原子層単位で膜を堆積し、微細化・高性能化を支える高精度成膜装置です

関連企業

• Applied MaterialsUS公式サイト
• 東京エレクトロン（TEL）JP公式サイト

関連カテゴリ

• CVD装置
• エピタキシャル成長装置
• PVD装置