CVD装置

CVD装置は、気相反応を利用してウェハ表面に薄膜を形成し、高い成膜速度と量産性を実現する成膜装置です。

関連企業

• Applied MaterialsUS公式サイト
• 東京エレクトロン（TEL）JP公式サイト
• Lam ResearchUS公式サイト

関連カテゴリ

• ALD装置
• エピタキシャル成長装置
• PVD装置