最終更新 2026-10-19

NAND製造プロセスとは

NAND Manufacturing Process
目次6項目
  1. 定義・解説
  2. 図解
  3. よくある質問
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連用語
  6. 比較・違いを学ぶ

定義・解説

NAND製造プロセスは、フローティングゲート型またはチャージトラップ型のフラッシュメモリセルを多層積層する3D NAND構造を作製する製造技術です。積層数の増加(現在232〜238層超)によりビット単価を下げ、SSD・スマートフォンストレージ等の大容量化を実現します。

Samsung・SKハイニックス・マイクロン・キオクシアが先端NAND製造をリードします。積層数増加に伴いエッチング(深アスペクト比)・成膜工程が複雑化し、製造装置の技術要求も高まっています。

現在のNANDは、メモリセルを垂直に積み重ねる3D NANDが主流です。積層数は200層を超え、深い穴(チャネルホール)を一括で形成する高アスペクト比エッチングや、全層を貫く成膜技術が製造の鍵となります。

1セルに複数ビットを記録する多値化(TLC/QLC)と積層数の増加で、ビットあたりのコストを下げ続けています。サムスン・SKハイニックス・マイクロン・キオクシアが主要メーカーで、SSDやスマートフォンのストレージ需要を支えています。

図解

3D NAND製造の主な工程(交互積層・チャネルホール・メモリ膜・ワード線置換・階段形成)
露光の最先端よりも、エッチングと成膜の技術が性能を決めるメモリ。

関連するデータ・ツール

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よくある質問(FAQ)

NAND製造プロセスとは何ですか?
フラッシュメモリセルを多層に積層する3D NANDを製造する工程です。チャネルホールの高アスペクト比エッチングや積層成膜が中核技術です。
3D NANDはなぜ積層するのですか?
平面での微細化が限界に近づいたため、セルを垂直に積み重ねて容量を増やします。積層数を増やすほどビットあたりのコストを下げられます。
主要メーカーは?
サムスン、SKハイニックス、マイクロン、キオクシアが主要メーカーです。SSDやスマホストレージ向けに大量生産されています。

設備の製造メーカー

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