計算ツール

半導体エンジニア向け計算ツール

圧力・真空度やガス流量の単位換算、eVと波長の換算、ウェハ1枚から取れるチップ数、レーリーの式による露光解像度と焦点深度、欠陥密度モデルによる歩留まり。半導体の現場と検討でよく使う計算を、その場で試せるツールにまとめています。すべてブラウザ内で計算し、入力値をサーバーへ送信することはありません。

ウェハ取れ数（Die Per Wafer）計算ツール

ウェハ口径とチップ寸法を入力すると、1枚のウェハから取れるチップ数（Die Per Wafer）を計算します。スクライブ幅とエッジ除外幅も指定でき、200mmと300mmの取得数の差もその場で比較できます。

露光波長・開口数（NA）・プロセス係数k₁を入力して、レーリーの式 R=k₁λ/NA による解像度と、DOF=k₂λ/NA² による焦点深度を計算します。EUV・ArF液浸・KrFのプリセットを切り替えて世代間の差も比較できます。

欠陥密度（D0）とチップ面積から、Poisson・Murphy・Seedsの各モデルで歩留まりを計算します。チップを大きくすると歩留まりがどれだけ落ちるか、チップレット分割がなぜ有利なのかを数値で確認できます。

Torr↔Pa、sccm↔slm、Å↔nm、eV↔nm、ppm↔ppb、Ω·cm↔Ω/sq、ISOクラス↔Class 100など、半導体の現場で使う単位換算を1ページにまとめました。真空度やプロセス温度のプリセットから一発で入力でき、計算はすべてブラウザ内で完結します。

Torr、Pa、mbar、mTorr、psi、atm、kgf/cm²など真空・圧力の単位を相互換算します。10⁻⁹Torrのような指数入力にも対応し、大気圧から超高真空までの領域とポンプの対応表、絶対圧とゲージ圧の違いも併せて確認できます。

電子ボルト（eV）と波長（nm）を E×λ=1239.8 の関係で相互換算します。cm⁻¹・THz・kJ/mol・kT換算にも対応し、EUV13.5nmやArF193nm、Si・GaN・SiCのバンドギャップをプリセットから呼び出せます。