MEMS

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム）は、半導体微細加工技術を用いて、センサー、アクチュエータ、マイクロ構造体を一体集積化した先端デバイスです。加速度センサー、ジャイロスコープ、圧力センサー、マイクロミラー、インクジェットヘッドなど、多様な機械的機能を実現します。スマートフォン、自動車、医療機器、IoTデバイスに広く応用され、DRIE（深堀エッチング）、犠牲層エッチング、ウェーハボンディングなど専用プロセス技術が必要です。