MEMS（微小電気機械システム）は、半導体微細加工技術を用いて、センサー、アクチュエータ、マイクロ構造体を一体集積化した先端デバイスです。機械的機能と電気的機能を組み合わせることで、多様なセンシング・駆動機能を実現します。
代表的な製品として、加速度センサー、ジャイロスコープ、圧力センサー、マイクロミラー（DLP）、インクジェットヘッド、マイクロフォンなどがあります。スマートフォン、自動車、医療機器、IoTデバイスなど幅広い分野で使用されています。
製造には、DRIE（深堀反応性イオンエッチング）、犠牲層エッチング、ウェーハボンディングなど、MEMS専用のプロセス技術が必要です。