SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
デバイス別製造メーカー6社Device-Specific Equipment
デバイス別製造装置は、化合物半導体(GaN・SiC・GaAs)、MEMS、パワー半導体など、シリコンロジック・メモリとは異なる材料特性や構造を持つ専用デバイス向けに最適化された製造装置群です。各デバイスカテゴリは独自のエピタキシャル成長、厚膜エッチング、犠牲層加工、ウェーハボンディングなどの特殊プロセスを必要とし、汎用Siプロセスとは装置構成が大きく異なります。5G通信、電気自動車(EV)、再生可能エネルギー、IoTセンサー、LEDなど、社会の電動化・無線化を支える先端アプリケーションの根幹を担う分野で、前工程・後工程の汎用装置カテゴリを補完する位置づけです。
メーカー 6 社サブカテゴリ 6 件
重要ポイント
化合物半導体(GaN・SiC・GaAs)、MEMS、パワー半導体など専用デバイス向け装置群
エピタキシャル成長・厚膜エッチング・ウェーハボンディング等の特殊プロセスが必要
5G通信・EV・再エネ・IoT・LEDなど先端用途の根幹を支える
汎用Siプロセスとは装置構成が異なり、専用サプライヤーが強みを持つ
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