デバイス別

デバイス別半導体製造装置は、特定の半導体デバイスタイプ（化合物半導体、MEMS、パワー半導体など）の製造に特化した装置群です。これらのデバイスは、シリコンロジック・メモリとは異なる材料特性や構造を持ち、それぞれ専用のプロセス技術と製造装置が必要とされます。5G通信、電気自動車、IoTセンサーなど、先端アプリケーションに不可欠な技術分野です。