欠陥検査装置
欠陥検査装置は、半導体製造工程においてウェハやパターン上の微小な欠陥・異常を検出するための検査装置で、歩留まり向上と工程管理に不可欠です。
主要特徴
- •光学・電子線で欠陥・パーティクル・スクラッチを自動検出
- •欠陥種類の分類でプロセス起因の不良発生源を特定
- •AI自動欠陥分類（ADC）で膨大な検査データを高速処理
- •早期異状検知により不良ロットの大量発生を防止
- •パターン欠陥・ランダム欠陥の両方に対応した検査手法
関連用語（用語集）
定義・用語の概要は用語集で解説しています。
欠陥検査装置は、半導体製造工程においてウェハやパターン上の微小な欠陥・異常を検出するための検査装置で、歩留まり向上と工程管理に不可欠です。
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