SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
ウェハ検査装置メーカー5社
ウェハ検査装置は、製造工程中のウェハ表面やパターンの欠陥を検出するための装置です。歩留まり改善や工程管理に不可欠です。
メーカー 5 社関連カテゴリ 5 件
主要特徴
明視野・暗視野光学検査で数十nm欠陥を高感度検出
SEM(走査型電子顕微鏡)による高分解能欠陥レビュー
欠陥分布分析・不良原因特定・歩留まり管理に直結
先端ノードでの微小欠陥検出が製造歩留まりを左右
AIを活用した欠陥自動分類(ADIE)技術の普及が進行中
代表製品・スペック
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
5社の主要メーカー