ウェハ検査装置
ウェハ検査装置は、製造工程中のウェハ表面やパターンの欠陥を検出するための装置です。歩留まり改善や工程管理に不可欠です。
主要特徴
- •明視野・暗視野光学検査で数十nm欠陥を高感度検出
- •SEM（走査型電子顕微鏡）による高分解能欠陥レビュー
- •欠陥分布分析・不良原因特定・歩留まり管理に直結
- •先端ノードでの微小欠陥検出が製造歩留まりを左右
- •AIを活用した欠陥自動分類（ADIE）技術の普及が進行中
関連用語（用語集）
定義・用語の概要は用語集で解説しています。
ウェハ検査装置は、製造工程中のウェハ表面やパターンの欠陥を検出するための装置です。歩留まり改善や工程管理に不可欠です。
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