SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
膜厚計測装置メーカー5社
膜厚計測装置は、成膜後の膜厚や光学特性を測定するための計測装置です。プロセスの再現性確保と歩留まり向上に貢献します。
メーカー 5 社関連カテゴリ 5 件
主要特徴
分光エリプソメトリー・反射分光でオングストローム精度の膜厚計測
ゲート酸化膜・誘電体膜・金属膜の厚さを非破壊測定
成膜プロセスの安定性確認と製造ばらつき低減に直結
XRF・XRD等を組み合わせた多層膜の総合評価
ALD・CVDなどの成膜プロセス制御へのフィードバックに活用
代表製品・スペック
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
5社の主要メーカー