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検査・計測の各用語ページでは、ウェハ欠陥・マスク・膜厚・オーバーレイ等のデータを統合する装置群の代表として、プロセスコントロールの中心に位置づけられます。
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主要製品・ソリューション
検査装置
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計測装置
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- •aiSIGHT
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