材料（Materials）

半導体材料は、製造プロセスの各工程で使用される化学物質・消耗材料の総称です。フォトレジスト（露光工程）、CMPスラリー（平坦化工程）、各種ガス（エッチング・成膜工程）など、装置とともに製造品質を決定する重要な要素です。材料の純度・特性が製品の歩留まりと性能に直結するため、プロセス技術の進化に合わせて材料技術も高度化が求められます。特に先端プロセス（3nm以下）では、EUV用レジストや原子層堆積（ALD）用前駆体など、従来にない特性を持つ材料の開発が必須となっています。材料・装置・プロセスの三者が密接に連携し、最適な組み合わせを見つけることが製造技術革新の鍵となります。