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半導体製造プロセスメーカー12Manufacturing Process

半導体製造プロセスは、シリコンウェハ上に微細な回路を形成する一連の工程と、その技術ノード(2nm・3nm・5nmなど)の組み合わせを指します。プロセスノードの数値は回路の最小線幅の目安を示し、微細化が進むほど同じ面積により多くのトランジスタを集積でき、高性能・低消費電力なチップを実現できます。現在の最先端ノードではEUV露光・GAA(Gate-All-Around)トランジスタ・原子層堆積(ALD)など革新的な技術が組み合わされています。ロジック(CPU・GPU・SoC)とメモリ(DRAM・NAND)では異なるプロセス最適化が必要で、TSMC・Samsung・IntelなどのファウンドリとIDMが技術競争を牽引します。

メーカー 12サブカテゴリ 8

重要ポイント

プロセスノード(2nm・3nm・5nmなど)が性能・消費電力・面積効率を決定
最先端ノードではEUV露光・GAAトランジスタ・ALD成膜の組み合わせが必須
ロジックプロセス(CPU/GPU/SoC)とメモリプロセス(DRAM/NAND)は異なる最適化が必要
TSMC・Samsung・Intel・Rapidusがファウンドリ技術競争を牽引
装置(ASML・AMAT・LAM・TEL)と材料・プロセス設計の三位一体で技術革新が進む

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8 カテゴリ

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2nmプロセス
3nmプロセス
5nmプロセス
DRAM製造プロセス
GAAプロセス
ロジックプロセス
メモリプロセス
NAND製造プロセス

メーカー

12社の主要メーカー

TSMC(台湾積体電路製造)台湾

世界最大の半導体ファウンドリ。3nm、5nm、7nmなど最先端プロセスノードで業界をリード。Apple、NVIDIA、AMDなど主要ファブレス企業の製造パートナー。

先端ロジックチップ製造
3nmプロセス5nmプロセス7nmプロセス
主要顧客チップ
Apple AシリーズApple MシリーズNVIDIA GPUAMD Ryzen
  • ファウンドリ市場シェア約60%の圧倒的トップポジション
  • 3nm/5nm最先端プロセスの量産化リーダー
Samsung Electronics(サムスン電子)韓国

世界最大のメモリメーカーであり、先端ロジックファウンドリでもあるIDM。DRAM・NANDフラッシュで市場をリードし、3nmプロセスでTSMCと競合。

メモリ
DRAMNANDフラッシュHBM(高帯域メモリ)
ロジックファウンドリ
3nmプロセス5nmプロセスExynos SoC
  • DRAM市場シェア約43%、NANDフラッシュ約33%の世界トップ
  • メモリとロジックの両方を製造するIDM(垂直統合)
Intel米国

世界最大のCPUメーカー。従来はIDMとして自社プロセスでCPUを製造してきたが、Intel Foundry Servicesを設立しファウンドリ事業にも参入。Intel 18A(1.8nm相当)など先端プロセス開発を推進。

プロセッサ
Core プロセッサXeon サーバーCPUArc GPU
製造プロセス
Intel 4Intel 3Intel 20AIntel 18A
  • x86アーキテクチャCPUで長年のマーケットリーダー
  • Intel 4(7nm相当)、Intel 3、Intel 18A(1.8nm相当)など独自プロセス開発
ASMLオランダ

EUV露光装置の唯一のグローバルサプライヤー。極紫外光リソグラフィ技術でムーアの法則を延命させ、5nm以下の先端プロセスに不可欠。

EUV露光装置
TWINSCAN NXETWINSCAN EXE (High-NA)
DUV露光装置
TWINSCAN DUVシリーズ
  • EUV露光装置の唯一のグローバルサプライヤー
  • High-NA EUVで8nmの解像度を実現
Applied Materials米国

世界最大の半導体製造装置サプライヤー。成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオで、ウェーハ製造の全工程をサポート。

成膜装置
CVDPVDALD
エッチング装置
エッチングシステム
CMP・イオン注入
CMP装置イオン注入装置
  • 世界最大の半導体製造装置サプライヤー
  • 成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオ
Lam Research米国

エッチング装置の世界的リーダー。約39%の市場シェアを持ち、原子層エッチング(ALE)技術で先端3Dチップアーキテクチャを支える。

エッチング装置
KiyoFlexVantexAkara
成膜装置
デポジションシステム
洗浄装置
ウェーハ洗浄装置
  • エッチング装置で世界シェア約39%のトップポジション
  • 原子層エッチング(ALE)技術における技術リーダーシップ
東京エレクトロン(TEL)日本

世界第3位の半導体製造装置メーカー。塗布現像、成膜、エッチング装置で高いシェアを誇り、先端プロセスに不可欠な技術を提供。

塗布現像装置
CLEAN TRACK ACTCLEAN TRACK LITHIUS
エッチング装置
TactrasCertas
成膜装置
EpisodeTriase+TELINDY PLUS
  • コータ/デベロッパで世界トップクラスのシェア
  • 塗布、成膜、エッチング装置の総合ラインナップ
KLA米国

半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出と先進データ分析により、歩留まり向上とプロセス開発を加速。

検査装置
ウェーハ検査システムマスク検査装置
計測装置
CD計測膜厚計測オーバーレイ計測
データ分析
aiSIGHTKlarity
  • 検査・計測装置における世界的リーダー
  • AI・データ分析を統合した先端プロセスコントロール
GlobalFoundries米国

世界第3位のファウンドリ。AMD・IBM半導体部門を統合して設立。12nm以上の成熟ノードとRF-SOI・FD-SOI特殊プロセスに特化。2021年にNASDAQ上場。

主力プロセス
12LP+(FinFET)22FDX(FD-SOI)RF-SOI
  • RF-SOI・FD-SOIプロセスで世界的な差別化ポジション
  • 成熟ノード(12nm以上)の車載・IoT向け生産能力
SMIC(中芯国際集成電路)中国

中国最大の半導体受託製造企業(ファウンドリ)。28nm・14nmプロセスを主力とし、中国の半導体サプライチェーン内製化の中心的役割を担う。

ロジックファウンドリ
28nmプロセス14nmプロセス成熟ノード(55/40/28nm)
  • 中国最大のファウンドリ、国内シェアトップ
  • 28nm〜成熟ノードの大規模製造能力
UMC(聯華電子)台湾

台湾第2位のファウンドリ。TSMC創業より1年早い1980年設立の老舗。22/28nm成熟ノードに特化し、車載・産業・ディスプレイ向けを主力とする。

主力プロセス
22nm28nm HPC+40nm65nm
  • 22/28nmファウンドリで世界第4〜5位の安定シェア
  • 車載・産業・ディスプレイドライバ向けの成熟ノード強み
Rapidus日本

トヨタ・ソニー・NTT等8社が出資して2022年設立の日本の最先端ファウンドリ。北海道千歳に工場建設中で2nm世代チップの量産を2027年に目指す。

先端ロジックファウンドリ
2nmロジック(開発中)パイロットライン(千歳)
  • 2nm世代ロジック半導体の国産量産を目標
  • IBM・imecとの技術提携による先端プロセス開発

関連カテゴリ

前工程装置
材料
後工程装置

関連用語

2nmプロセスとは →3nmプロセスとは →5nmプロセスとは →GAA(Gate-All-Around)とは →ロジックプロセスとは →メモリプロセスとは →DRAMとは →NAND型フラッシュメモリとは →
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