GLOSSARY

トラップ(キャリアトラップ)とは

Carrier Trap
最終更新:2026-08-02製造プロセス

トラップ(キャリアトラップ)とは?

トラップ(キャリアトラップ)とは、結晶欠陥や不純物、界面準位によってバンドギャップ中に形成される、電子や正孔を一時的に捕獲するエネルギー準位です。キャリアを捕まえては放出するため、しきい値電圧の変動やノイズ、応答遅れの原因になります。一方で不揮発性メモリでは、電荷を意図的にトラップして記憶に利用します。

定義・解説

トラップ(キャリアトラップ)とは、半導体の結晶欠陥や不純物、界面準位などによってバンドギャップ中に形成される、電子や正孔を一時的に捕獲するエネルギー準位のことです。トラップはキャリアを捕まえては放出するため、デバイス特性に大きな影響を与えます。

トラップは再結合中心となってキャリア寿命を縮めたり、しきい値電圧の変動やリーク電流の原因になったりします。一方で、この電荷捕獲を積極的に利用したのがチャージトラップ型フラッシュメモリ(3D NAND)で、トラップ準位に電子を蓄えてデータを記憶します。界面トラップの低減は信頼性向上の鍵です。

トラップは結晶の欠陥や格子の乱れ、酸化膜との界面(界面準位)、重金属などの不純物によって生じ、バンドギャップの中央付近に深い準位を作ります。トラップに捕らえられたキャリアは一定時間後に放出されるため、応答の遅れやばらつきの原因になります。

悪影響としては、再結合中心となってキャリア寿命を縮める、MOSFETのしきい値電圧を変動させる、リーク電流を増やす、といった点があります。一方でトラップへの電荷蓄積を積極利用したのがチャージトラップ型フラッシュ(3D NANDの主流)で、SiN膜のトラップに電子を蓄えてデータを記憶します。

よくある質問(FAQ)

トラップ(キャリアトラップ)とは何ですか?
結晶欠陥・不純物・界面準位などがバンドギャップ中に作る準位で、電子や正孔を一時的に捕獲・放出します。再結合中心やしきい値変動の原因になります。
トラップはデバイスにどんな悪影響がありますか?
キャリア寿命の低下、MOSFETのしきい値電圧の変動、リーク電流の増加などを招きます。界面トラップの低減は信頼性向上の重要な課題です。
トラップを利用したデバイスはありますか?
チャージトラップ型フラッシュメモリ(3D NAND)が代表例です。窒化シリコン膜中のトラップ準位に電子を蓄えることでデータを記憶します。

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関連用語

再結合(キャリアの再結合)とは →チャージトラップフラッシュとは →禁止帯(バンドギャップ)とは →正孔(ホール)とは →短チャネル効果(SCE)とは →
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