露光解像度・焦点深度 計算ツール（レーリーの式）

要点

リソグラフィで到達できる最小解像度はレーリーの式 R = k₁ × λ / NA で決まり、焦点深度は DOF = k₂ × λ / NA² で決まります。解像度を上げるには波長λを短く、開口数NAを大きく、プロセス係数k₁を小さくすればよいのですが、NAを上げると焦点深度が2乗で浅くなるというトレードオフがあります。このツールはその関係を数値で確かめるためのものです。

k₁は解像度向上技術（OPC・位相シフトマスク・変形照明）の成熟度を表す係数で、単一露光の理論限界は0.25です。k₂は焦点深度の定義によって0.5前後の値が使われます。NAを上げると解像度は改善しますが、焦点深度はNAの2乗に反比例して浅くなる点に注意してください。