COMPANY DATABASE
住友精密工業
MEMS・パワー・TSV向けの深掘り反応性イオンエッチング（DRIE）装置やマイクロ加工技術で知られる。航空・熱制御事業も併せ持つ精密機器メーカー。
当サイトでの位置づけ
Semirai では、深掘り反応性イオンエッチング（DRIE）をMEMS・TSV向けに供給する装置メーカーとして、3次元微細加工を支える立場に位置づけられます。
企業の強み
深掘りエッチング（DRIE）で高アスペクト比加工に強み
MEMS・TSV・パワーデバイス向けプロセス
表面処理・成膜まで含む微細加工技術
主要製品・ソリューション
微細加工装置
- •DRIE（深掘りエッチング）装置
- •MEMS製造プロセス装置
- •表面処理装置
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、住友精密工業を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
FOR COMPANIES
貴社の情報をSemiraiに掲載しませんか？
無料プランからご利用いただけます。