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メモリプロセスメーカー6社
メモリプロセスは、DRAM・NAND Flash・NOR Flashなどのメモリデバイスを製造するための半導体プロセス技術の総称です。ロジックプロセスと異なり、同一セル構造の超高密度繰り返しパターンを低コストで製造することを最優先とします。DRAMでは1T1C(1トランジスタ+1キャパシタ)セルの容量最大化、3D NANDでは層数増加(200層超)とセル密度の向上が現在の主要課題であり、専用のエッチング・成膜・熱処理装置が多用されます。
メーカー 6 社関連カテゴリ 7 件
主要特徴
DRAM・3D NAND・NOR Flashなどメモリデバイス専用のプロセス技術
高密度セルの繰り返しパターン形成を低コストで実現することを最優先
DRAMはARMセル容量確保のため超高アスペクト比キャパシタエッチングが重要
3D NANDは200層超の多層スタックを一括エッチングする高選択比エッチャーが不可欠
SK Hynix・Samsung・Micronがメモリプロセスの3大メーカー
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