RANKING 2026

露光装置メーカー3社 注目ランキング【2026年】

ウェハ上に超微細なパターンを描く露光装置。EUV時代の到来でASMLが唯一のサプライヤーとなった一方、Nikon・Canonはニコン・DUV領域での競争を継続。微細化ロードマップそのものを左右する最重要装置メーカーを詳解します。

露光装置(リソグラフィ装置)はウェハ上にマスクパターンを転写し、微細な回路パターンを形成する前工程の最重要装置です。波長が短い光(EUV)を使うことで、より微細な加工が可能になりますが、EUV技術はASMLが開発・製造を独占しています。2026年は、先端ノード向けEUV需要の急増と、成熟プロセス向けDUVの堅調な需要が並立する構図が続く見込みです。

#1

ASML

オランダ

EUV露光装置の唯一のグローバルサプライヤー。High-NA EUVで8nmの解像度を実現し、5nm以下の先端プロセスに不可欠な存在。2026年も供給制約の中で需要が集中し続ける見込み。DUV装置もラインナップしており、微細化トレンドの中核を占める。

EUV独占High-NA5nm以下
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#2

Nikon

日本

かつてはEUV競争の中心メーカーだったが、2020年代後半はDUV路線に特化。28nm~7nm世代のDUV需要に対応し、i線ステッパーも含めたポートフォリオで市場シェアを維持。成熟プロセス向けの堅実なサプライヤーとしての地位を確立。

DUVi線ステッパー成熟プロセス
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#3

Canon

日本

Nikonと同様DUVとi線ステッパーで事業継続。ニッチな顧客層との関係を保ち、特定の微細化ステップや地域での需要に対応。プロジェクションレンズ技術を活かしたDUV装置で競争力を保つ。

DUVi線レンズ技術
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ランキング概要

順位企業名主な強み
#1ASMLオランダEUV独占
#2Nikon日本DUV
#3Canon日本DUV

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