掲載する
RANKING

エッチング装置メーカー6社 注目ランキング【2026年】

ウェハ上のパターンを形成する最重要装置。Lam Researchが約39%の市場シェアで圧倒する中、日本メーカーと米国勢がニッチ領域で競争。微細化・3D化時代の最前線を担う各社を詳解します。

ドライエッチング装置は、ウェハ上に形成された薄膜をプラズマで選択的に除去し、微細なパターンを作り込む前工程の最重要装置です。7nm以下の先端プロセスでは、微細な側壁を形成する原子層エッチング（ALE）が必須となり、技術難度が急速に高まっています。2026年の市場では、Lam Researchの技術的優位性がさらに強化される見込みで、競争各社はプロセス統合やAI制御など周辺領域での差別化を急いでいます。

01主要メーカー6社

  1. 01

    Lam Research

    米国

    ドライエッチング装置で世界市場シェア約39%を占めるトップメーカー。原子層エッチング（ALE）技術で3D NAND、GAA、DRAM等の先端プロセスを強力にサポート。2026年も微細化ロードマップの中心に位置づけられる。

    ALE ・ 3D NAND ・ GAA企業詳細 →

  2. 日本を代表する総合装置メーカー。Lam Researchに次ぐシェアを持ち、特にアジア圏での顧客基盤が強固。プロセス統合ソリューションでの差別化が強み。

    プロセス統合 ・ アジア展開企業詳細 →

  3. 日本の半導体装置メーカーの老舗。電子ビームパターニング技術からエッチング装置へと進化し、特定の微細プロセスで競争力を持つ。検査装置との組み合わせソリューション。

    EB パターニング ・ 検査連携企業詳細 →

  4. 世界最大の装置メーカーで、成膜とエッチングの包括ラインを提供。プロセスインテグレーション戦略で顧客ロックインを強化。AIベースのプロセス制御が差別化。

    プロセスインテグレーション ・ AI制御企業詳細 →

  5. 中堅装置メーカーで、特定の微細プロセスやニッチなエッチング技術で競争力を保つ。Advanced packaging等の新領域での展開を進行中。

    ニッチ技術 ・ パッケージング企業詳細 →

  6. 日本市場での専門メーカー。プラズマプロセス技術に特化し、特定顧客の要求に応じたカスタマイズ装置で存在感を維持。

    プラズマ技術 ・ カスタマイズ企業詳細 →

02ランキング概要

順位企業名国主な強み
1位Lam Research米国ALE
2位Tokyo Electron日本プロセス統合
3位Hitachi High-Tech日本EB パターニング
4位Applied Materials米国プロセスインテグレーション
5位Mattson Technology米国ニッチ技術
6位Plasma-Therm Japan日本プラズマ技術

03関連ページ

装置カテゴリで詳しく見る

エッチング装置カテゴリ — メーカー一覧・技術解説

ドライ・ウェットエッチングの装置種別・プロセス・主要メーカーを網羅したカテゴリページ。

Semiraiに掲載されていないエッチング装置メーカーをご存知でしたら、ぜひ情報をお寄せください。企業情報・ランキング更新への協力をお待ちしています。 この記事に掲載されていないメーカーの方はこちら