成膜装置（CVD・ALD・PVD）メーカー5社 注目ランキング【2026年】
ウェハ上に薄い膜を形成する成膜装置。CVD（化学気相成長）、ALD（原子層成膜）、PVD（物理気相成長）など複数の技術が微細化・3D化対応で急速に進化。Applied MaterialsとLam Researchが市場を二分し、日本メーカーが補完的なポジションを占める構図が続きます。
成膜装置はウェハ上に薄い膜（金属、酸化膜、窒化膜など）を形成する装置。微細化が進むほど、原子レベルでの膜厚制御が必須となり、ALD技術の比重が高まります。2026年は、3D NAND、ゲートオールアラウンド（GAA）トランジスタなど、構造的に複雑な3Dアーキテクチャに対応する高精度な成膜技術の需要が急増。Applied MaterialsとLam Researchの技術競争が激化する見込みです。
01主要メーカー5社
成膜装置市場で最大手。CVD、ALD、PVD、エモリー処理など包括ラインナップを提供し、プロセスインテグレーションにより顧客ロックインを強化。先端3Dアーキテクチャ対応の最新技術で市場をリード。
CVD/ALD/PVD ・ プロセスインテグレーション企業詳細 →
エッチングで強力な基盤を持つLamが、成膜領域でも競争力を強化。デポジションシステムで先端プロセス対応。エッチングとの相乗効果によるプロセスフロー最適化を推進。
デポジション ・ エッチング連携企業詳細 →
日本を代表する総合装置メーカーで、CVDおよびALD装置で競争力を持つ。特にアジア圏での顧客基盤が強固で、地域別プロセス対応での差別化を実現。
CVD/ALD ・ アジア展開企業詳細 →
ALD（原子層成膜）技術の専門メーカー。先端ノード向けの超高精度成膜で存在感を強化。微細な原子層制御が必須の3D NANDやGAAプロセスで存在感が高まる。
ALD専門 ・ 原子層制御企業詳細 →
日本の成膜装置メーカー。バッチ縦型CVD炉で伝統的な競争力を持ち、特定の微細プロセスやニッチな顧客層に対応。ローカルサポートでの差別化が特徴。
バッチCVD ・ 日本市場企業詳細 →
02ランキング概要
| 順位 | 企業名 | 国 | 主な強み |
|---|---|---|---|
| 1位 | Applied Materials | 米国 | CVD/ALD/PVD |
| 2位 | Lam Research | 米国 | デポジション |
| 3位 | Tokyo Electron | 日本 | CVD/ALD |
| 4位 | ASM International | オランダ | ALD専門 |
| 5位 | 国際電気 | 日本 | バッチCVD |
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