当サイトでの位置づけ
露光装置カテゴリでは、DUV スキャナー・i線ステッパーを中核に、ASML と並ぶ歴史的プレーヤーとして、i線/DUV 関連用語から参照されます。
企業の強み
i線ステッパー・DUVスキャナーの長年の製造実績
光学系・精密ステージ技術における技術的優位
成熟プロセス・パワー半導体・MEMS向け需要で安定したポジション
主要製品・ソリューション
DUVスキャナー
- •NSR-S635E
- •NSR-S620D
i線ステッパー
- •NSR-iA シリーズ
関連装置カテゴリ
関連用語
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