検査・計測装置はウェハ製造の各ステップで欠陥や膜厚を測定し、プロセスの再現性と歩留まりを支える重要なツール。7nm以下の先端プロセスでは、サブ10nm単位での欠陥検出やオーバーレイ計測が必須となり、AI・機械学習を活用したデータ分析の重要性が急速に高まっています。2026年は、プロセスコントロールの中心をなすAI駆動型検査・計測システムへの投資が加速する見込みです。
#1
KLA
米国
半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出とデータ分析で、プロセスコントロール中心に位置づけ。ウェハ検査、マスク検査、CD計測、膜厚計測等の包括ラインナップで市場をリード。
AI検査プロセスコントロール
企業詳細を見る →CD-SEM（測長SEM）で世界シェア約80%を占める計測技術の圧倒的リーダー。2nm/3nm世代の先端プロセスに不可欠。ウェハ検査やマスク検査との組み合わせソリューション。
CD-SEM計測リーダー
企業詳細を見る →成膜・エッチング等の主要装置ラインとの統合により、検査・計測での地位を強化。プロセスインテグレーションによる顧客ロックイン戦略。包括ソリューション提供での優位性。
プロセスインテグレーションAIデータ
企業詳細を見る →ランキング概要
| 順位 | 企業名 | 国 | 主な強み |
|---|---|---|---|
| #1 | KLA | 米国 | AI検査 |
| #2 | Hitachi High-Tech | 日本 | CD-SEM |
| #3 | Onto Innovation | 米国 | ウェハ検査 |
| #4 | Applied Materials | 米国 | プロセスインテグレーション |
| #5 | Camtek | イスラエル | 後工程検査 |
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