半導体検査・計測装置メーカー5社 注目ランキング【2026年】
ウェハ上の欠陥検査と膜厚・寸法計測は、歩留まり向上とプロセス制御の要。KLAのAI駆動検査と日立ハイテクの計測技術が市場をリード。2026年は、AIベースのデータ分析を統合したプロセスコントロールプラットフォームへの需要が急増します。
検査・計測装置はウェハ製造の各ステップで欠陥や膜厚を測定し、プロセスの再現性と歩留まりを支える重要なツール。7nm以下の先端プロセスでは、サブ10nm単位での欠陥検出やオーバーレイ計測が必須となり、AI・機械学習を活用したデータ分析の重要性が急速に高まっています。2026年は、プロセスコントロールの中心をなすAI駆動型検査・計測システムへの投資が加速する見込みです。
01主要メーカー5社
半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出とデータ分析で、プロセスコントロール中心に位置づけ。ウェハ検査、マスク検査、CD計測、膜厚計測等の包括ラインナップで市場をリード。
AI検査 ・ プロセスコントロール企業詳細 →
CD-SEM（測長SEM）で世界シェア約80%を占める計測技術の圧倒的リーダー。2nm/3nm世代の先端プロセスに不可欠。ウェハ検査やマスク検査との組み合わせソリューション。
CD-SEM ・ 計測リーダー企業詳細 →
ウェハ検査・膜厚計測で競争力を持つ米国メーカー。特定の計測ニーズに対応した高精度装置で市場シェアを確保。顧客ニーズ適応型の戦略を展開。
ウェハ検査 ・ 膜厚計測企業詳細 →
成膜・エッチング等の主要装置ラインとの統合により、検査・計測での地位を強化。プロセスインテグレーションによる顧客ロックイン戦略。包括ソリューション提供での優位性。
プロセスインテグレーション ・ AIデータ企業詳細 →
イスラエルの検査装置メーカー。特に後工程検査（パッケージング・実装後の欠陥検査）で存在感を強化。特定顧客との協力関係を深化させながら、前工程へのアプローチも拡大中。
後工程検査 ・ イスラエル企業企業詳細 →
02ランキング概要
| 順位 | 企業名 | 国 | 主な強み |
|---|---|---|---|
| 1位 | KLA | 米国 | AI検査 |
| 2位 | Hitachi High-Tech | 日本 | CD-SEM |
| 3位 | Onto Innovation | 米国 | ウェハ検査 |
| 4位 | Applied Materials | 米国 | プロセスインテグレーション |
| 5位 | Camtek | イスラエル | 後工程検査 |
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関連リンク
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